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ISP 250C

产品特色

  • 极限压力低
  • 抽气速度快
  • 零污染,无须油保养
  • 高性价比
  • 最大入口压力达 760 Torr

ISP-250C 无油涡卷式真空泵 规格图


DimensionISP-250

ISP-250C 无油涡卷式真空泵 技术资料


替换率

50 Hz

15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1

60 Hz

18 m3h-1 / 10.6 ft3min-1

最高抽气速度

50 Hz

12.5 m3h-1 / 7.3 ft3min-1

60 Hz

15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1

最大真空度

1.6 x 10-2 mbar / 1 x 10-2 Torr

入口连接

NW25

出口连接

NW16

电机功率

0.4 kW

电源供应

1-phase, 50Hz

200/230 V

1-phase, 60Hz

110/115V

噪音程度

58db (A)

震动程度

1.5 mms -1

防护等级

IP44

密封性能(静态)

10-4 mbar l s-1

作动温度范围

5 to 40゚C / 41 to 104゚C

重量

1-phase pump

25 kg / 55 lbs


ISP-250C 无油涡卷式真空泵 应用

  • 扫描式电子显微镜
  • 离子植入(电子束及终端装置)
  • 一般清洁的抽真空应用
  • 溅镀
  • 涡轮分子泵的前级泵
  • 稀有气体再循环
  • 胶材干燥
  • 旋转蒸镀设备
  • 离心浓缩
  • 真空炉
  • 手套箱
  • 真空腔体粗抽使用
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